簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "材料科學與工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="熱蒸氣沉積"


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    利用化學氣相沉積系統於二氧化矽/矽基板成長二硫化鉬及其光電特性研究
    • /107/ 碩士
    • 研究生: 李銘儒 指導教授: 柯文政
    • 本研究探討利用化學氣相沉積系統於二氧化矽/矽基板上成長二硫化鉬薄膜並分析其光電特性實驗中。分別利用熱蒸氣沉積以及熱蒸氣硫化兩種成長方法製備二硫化鉬薄膜。熱蒸氣沉積製備方法為將三氧化鉬粉末與硫粉在高溫…
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